епітаксійно
ЕПІТАКСІ́ЙНО, геол., фіз.
Присл. до епітаксі́йний.
Дифузне розсіяння від мікрошорсткостей є ефектом меншого порядку порівняно з розсіянням від точок, особливо на епітаксійно вирощених поверхнях поділу (з наук. літ.).
Словник української мови (СУМ-20)