мікроінтерферометр
мікроінтерферо́метр
-а, ч.
Прилад для контролю точності оброблювання поверхонь, вимірювання товщини плівок тощо.
Великий тлумачний словник сучасної української мовимікроінтерферо́метр
-а, ч.
Прилад для контролю точності оброблювання поверхонь, вимірювання товщини плівок тощо.
Великий тлумачний словник сучасної української мови