мікроінтерферометр

мікроінтерферо́метр

(від мікро... та інтерферометр)

прилад для контролю точності оброблювання поверхонь, вимірювання товщини плівок тощо.

Джерело: Словник іншомовних слів за редакцією О.С. Мельничука на Slovnyk.me

Значення в інших словниках

  1. мікроінтерферометр — -а, ч. Прилад для контролю точності оброблювання поверхонь, вимірювання товщини плівок тощо. Великий тлумачний словник сучасної мови