епітаксія
епітаксія, род. епітаксії
(від гр. επι (епі) — на та ταξισ (таксіс) — впорядкований)
метод осадження монокристалічної плівки на монокристалічну підкладку, при якому кристалографічна орієнтація шару, який осаджують, повторює кристалографічну орієнтацію підкладки. Осаджена плівка зветься епітаксійною плівкою або епітаксійним шаром.
• Для відсутності дислокацій при епітаксії, необхідно узгодження сталих гратки відповідних речовин (Тітов).
• Епітаксія реалізує можливість контролю речовини в процесі росту (Тітов).
Термінологічний тлумачний словник-мінімум для студентів фізико-технічного інституту